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离子源
PDS-160
离子源
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离子源
主要特性
规格
主要特性
01
稳定、完全致密的薄膜。
02
稳定的等离子体分布/密度。
03
等离子体高度中和。
04
适用于低温镀膜。
05
提高附着力。
06
运行低成本。
规格
型号
PDS-160
阳极温度
1500℃
加热器功率
3.0kW
放电电流
50A
放电电压
150V
放电功率
10kW
充氩真空压力
2*10⁻²pa
充氧真空压力
4*10⁻²pa
Ar的离子电流密度
0.5mA/cm²
Ar+O2的离子电流密度
1mA/cm²
离子能量
20eV-200eV
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