PDS-160

离子源

离子源

主要特性

01稳定、完全致密的薄膜。

02 稳定的等离子体分布/密度。

03 等离子体高度中和。

04 适用于低温镀膜。

05 提高附着力。

06 运行低成本。

规格

型号 PDS-160
阳极电压 1500℃
加热器功率 3.0kW
放电电流 50A
放电电压 150V
放电功率 10kW
充氩真空压力 2*10⁻²pa
充氧真空压力 4*10⁻²pa
Ar的离子电流密度 0.5mA/cm²
Ar+O2的离子电流密度 1mA/cm²
离子能量 20eV-200eV