电极

• 可改装电极
• 电极直径可从100mm至1m
• 可选加热电极
• 可调节的电极间距
• 自动调整匹配电容
• 可选-低频注入

自动控制

• 自动化控制系统
• 自动压力控制
• 用户界面友好
• 过程数据记录
• 灵活的工艺参数设置
• 脱机工艺参数编辑

可选真空系统

• 可任选各种真空泵：如干泵、分子泵
• 可适用有毒/自燃气体
• 超宽工作真空度范围：10^-6 至 10^-2 姆巴尔

操作维护简便

• 方便维护顶部/底部电极
• 针对有毒/自燃气体使用的安全配置
• 可靠的安全联锁系统
• 易于清洁

RF PECVD系统与19“控制机架

• 通过工艺条件控制化学计量。具有专有的热力学设计，可将基底温度加热至500°C。电极间距从100到250mm可调
• 提供广泛的材料沉积，包括:SiOx, SiNx, SiOxNy, Si3N5, SiC, a- si:H, SiO2, Ta2O5, TiO2
• 类金刚石，完全符合广泛的行业标准环境/耐久性测试
• 磷化物类镀层
• 自清洁功能