JON-16

离子源

离子源

规格

型号 JON-16
阳极电压 DC 0 ~ 300V
阳极最大允许电流 10A
阳极电流范围 0 ~ 10A
灯丝电流 0 ~ 30A
气体流量 0 ~ 100Sccm (氧)、 0 ~ 50Sccm(氩)
可持续工作时间 8小时(氧气)
电源功率 2.5KW