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离子源
JON-16
离子源
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离子源
规格
规格
型号
JON-16
阳极电压
DC 0 ～ 300V
阳极最大允许电流
10A
阳极电流范围
0 ～ 10A
阴极电流范围
40A
灯丝电流
0 ～ 30A
气体流量
0 ～ 100Sccm （氧）、 0 ～ 50Sccm（氩）
可持续工作时间
8小时（氧气）
电源功率
2.5KW
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