JASOC 900
光学薄膜镀膜机
整机
主要特性
01真空系统采用了低温机械泵+冷凝泵组成全自动排气系统,达到了排气高效化和节能环保。
02 高稳定、高可靠性的270度偏转电子枪用于蒸镀工艺。
03 六点旋转电阻蒸发源 适用于中远红外材料蒸镀。
04 使用可见或红外光学膜厚监控系统对蒸镀工艺进行监控。
05 六点水晶膜厚监控器用于控制蒸镀速率,显著提高监控精度和可靠性,减少误判。
06 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。
规格
性能
安装要求