01真空系统采用了低温机械泵+冷凝泵组成全自动排气系统，达到了排气高效化和节能环保。

02 高稳定、高可靠性的270度偏转电子枪用于蒸镀工艺。

03 六点旋转电阻蒸发源 适用于中远红外材料蒸镀。

04 使用可见或红外光学膜厚监控系统对蒸镀工艺进行监控。

05 六点水晶膜厚监控器用于控制蒸镀速率，显著提高监控精度和可靠性，减少误判。

06 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。