01 高真空排气性系统由双低温冷凝泵或3台分子泵+PLOYCOLD组成 ，实现排气无油化、高效化、节能化。

02 霍尔离子源或射频离子源进行离子辅助镀膜，极大改善薄膜的特性和质量。

03 高稳定、高可靠性的电子枪用于蒸镀工艺。

04 阻蒸(多点可选)。

05 石英水晶片控制器用于控制蒸镀速率，大大提高监控精度和可靠性，减少误判。

06 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。