整机
标准规格
01 真空室φ1100mm-φ1800mm (SUS304,大小可定制)。
02 控制系统采用触摸屏方式 : PLC控制。
03 基板转动机构:6-8轴公自转行星机构。
04 射频等离子体重合机构(射频电源3-5KW可选)。
05 油扩散泵+低温捕集泵。
06 油旋转真空泵。
07 机械增压泵。
08 真空测定系统 : 潘宁真空计 + 皮拉尼真空计。
选项/其他
01 基板转动机构设置在门上,方便单双门设置,提高生产效率。
02 远程操作机构 : 故障的早期发现。
03 冷冻机 : Polycold、Super Trap。