01 真空槽1400φ (SUS304)。

02 控制系统采用触摸屏方式 : PLC控制。

03 6英寸圆型溅射电极8式 : 千鸟格子排列、一键安装拆卸靶。

04 直流溅射电源20kw : 2台。

05 油扩散泵26英寸 : 2台。

06 机械增压泵 : 1台。

07 油旋转真空泵10000L/min : 2台。

08 真空测定系统 : 潘宁真空计 + 皮拉尼真空计。

01 等离子体聚合(保护膜)RF机构。

02 远程操作机构 : 故障的早期发现。

03 冷冻机 : Polycold、Super Trap。

04 冷水循环装置(室外型) : 电源、泵系统的冷却。