01 真空槽1200～1800φ (SUS304)。

02 可控制系统采用触摸屏方式 : PLC控制。

03 油扩散泵26～28英寸 : 2台。

04 机械增压泵 : 1台。

05 油旋转真空泵10000L/min : 2台。

06 真空测定系统 : 潘宁真空计+皮拉尼真空计。

01 等离子体聚合(保护膜)RF机构。

02 离子喷涂(贴合膜)RF机构。

03 远程操作机构 : 故障早期发现。

04 冷冻机 : Polycold、Super Trap。

05 冷水循环装置(室外型) : 电源、泵系统的冷却。