MCS-6

六点水晶探头

MCS 六点选转水晶探头专为高要求膜系工艺而设计,用于厚的薄膜和几种不同的镀膜材料成膜监控。

主要特性

01 六个水晶工位。

02 探头工作温度范围0-350℃。

03 转位精确,更换晶振片方便快捷。

04 设计合理紧凑。

05 探头位置信号反馈稳定。

06 真空长度可根据客户要求制定。

07 安装法兰允许自由调节真空长度。

规格

型号 MCS-6
应用 350℃内高速率和长时间连续蒸发
配备水晶数量 6片
晶体转位方法 气动转位
晶体尺寸 直径 14 mm (0.550 in.)
晶体频率 5 MHz (6MHz)
冷却水/水容量 2L/min ; 3~4kg/cm²
冷却水/水连接 Rc1/8 线程
空气供应/气压 4 ~ 5kg/cm²
空气供应/空中连接 Rc1/8 线程 ; 与速度控制器快速连接空气
重量 3.8 kg ; (L=350mm)
工作温度 无水冷却最大130℃ ; 有水冷却最大 350°C