MCF-6

六点水晶探头

MCS 六点选转水晶探头专为高要求膜系工艺而设计,用于厚的薄膜和几种不同的镀膜材料成膜监控。

主要特性

01 六个水晶工位。

02 探头工作温度范围0-350℃。

03 更换晶振片方便快捷。

04 设计合理紧凑。

05 探头位置信号反馈。

06 真空长度可根据客户要求制定。

07 安装法兰允许自由调节真空长度。

规格

型号 MCF-6
应用 高速率和长时间连续蒸发在350°C
配备水晶编号 6 件
晶体更改方法 压缩空气
晶体大小 直径 14 mm (0.550 in.)
晶体容量 5 MHz (6MHz)
冷却水/水容量 2L/min ; 3~4kg/cm²
冷却水/水连接 Rc1/8 线程
空气供应/气压 4 ~ 5kg/cm²
空气供应/空中连接 Rc1/8 线程 ; 与速度控制器快速连接空气
重量 3.8 kg ; (L=350mm)
工作温度 130°C 最大无水冷却 ; 水冷却最大 350°C