01 双油扩散泵和低温冷凝器组合及全自动排气系统，实现排气高效化。

02 霍尔离子源或射频离子源进行离子辅助镀膜，极大改善薄膜的特性和质量。

03 高稳定、高可靠性的电子枪用于蒸镀工艺。

04 阻蒸 (多点可选)。

05 石英水晶片控制器用于控制蒸镀速率，大大提高监控精度和可靠性，减少误判。

06 平面行星回转机构保证更高要求的均匀性和一致性。

07 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。