JASOC 1550

光学薄膜镀膜机

主要特性

01 双油扩散泵和低温冷凝器组合及全自动排气系统,实现排气高效化。

02 霍尔离子源或射频离子源进行离子辅助镀膜,极大改善薄膜的特性和质量。

03 高稳定、高可靠性的电子枪用于蒸镀工艺。

04 阻蒸 (多点可选)。

05 石英水晶片控制器用于控制蒸镀速率,大大提高监控精度和可靠性,减少误判。

06 平面行星回转机构保证更高要求的均匀性和一致性。

07 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。

规格

型号 JASOC 1550
真空腔体 SUS304, Ø1550mm x 1550mm(H)
工件盘尺寸 Ø430mm * 4
工件盘旋转速度 10rpm ~ 30rpm (可调)
光学膜厚监控 反射式波长范围 350nm ~ 1100nm
透射式直接监控波长范围 400nm ~ 1700nm
水晶膜厚计 XTC/3 + 六点旋转式水晶探头
蒸发源 RH阻蒸
离子源 多选,霍尔源,PDS,RF射频源可选
排气系统 机械泵 + 罗茨泵 + 2个22英寸扩散泵 + 低温捕集泵

性能

项目 内容
极限真空 ≦7.0 × 10⁻⁵Pa
恢复真空 ≦20min
最大烘烤温度 ≦150℃

安装要求

项目 内容
设备尺寸 6500(W) x 500mm(D) x 3100mm(H)
所需电力 ≈75KVA
所需冷却水流量 ≧120L / min
所需空气压力 ≧0.5MPa
总重量 ≈7000Kg